Preparation of Single-Crystal Zinc Oxide Films on a Metal Sublayer

V. A. Luzanov; Лузанов В. А.

doi:10.31857/S0033849423050108

Получение монокристаллических пленок оксида цинка на металлическом подслое

Авторы: Лузанов В.А.¹
Учреждения:
1. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Выпуск: Том 68, № 5 (2023)
Страницы: 470-471
Раздел: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
URL: https://ruspoj.com/0033-8494/article/view/650531
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423050108
EDN: https://elibrary.ru/UHVBOK
ID: 650531

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Для увеличения эффективности работы устройств на основе пьезоэлектрических преобразователей из оксида цинка предложено использовать монокристаллические слои платины в качестве нижнего электрода. Получены эпитаксиальные монокристаллические пленки оксида цинка на металле. Показано, что данное сочетание слоев позволяет минимизировать рассогласование по параметрам решетки пленки и подложки, что существенно повышает качество полученной пьезоэлектрической пленки.

Ключевые слова

piezoelectric transducer, zinc oxide, epitaxial single-crystal film

Об авторах

В. А. Лузанов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: valery@luzanov.ru
Российская Федерация, 141190, Московской обл., Фрязино,, пл. Введенского, 1

Список литературы

Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
Morales C., Leinen D., del Campo A. et al. // J. Alloys and Compounds. 2021. V. 884. Article No. 161056.
Franklin J.B., Zou B., Petrov P. et al. // J. Material Chemistry. 2021. V. 21. № 22. P. 8178.
Steiger P., Zhang J., Harrabi K. et al. // Thin Solid Films. 2018. V. 645. P. 417.