Информация об авторе
Изюмов, М. О.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 54, № 3 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Наноструктурированное травление рутения в трехкомпонентной плазме Сl2/O2/Ar | |
Том 54, № 3 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Самосборка трехмерных мезоструктур с использованием локальной ионно-плазменной обработки |