Автор туралы ақпарат
Сидоров, Ф. А.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 52, № 2 (2023) | ЛИТОГРАФИЯ | Cross Sections of Scattering Processes in Electron-Beam Lithography | |
| Том 54, № 1 (2025) | МОДЕЛИРОВАНИЕ | Calculation of distributions of electron beam energy absorbed in PMMA and Si using various scattering models |