Термодинамическое моделирование осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы

封面

如何引用文章

全文:

开放存取 开放存取
受限制的访问 ##reader.subscriptionAccessGranted##
受限制的访问 订阅或者付费存取

详细

Проведено термодинамическое моделирование процесса осаждения из газовой фазы в системе системы Ni-O-C-H-(Ar) в интервале температур 100–800°С при давлении 0.1 Торр. Смоделирован процесс получения никельсодержащих пленок из смеси никелоцена или ацетилацетоната никеля с кислородом, а также аргоном (в качестве газа-носителя) посредством осаждения из газовой фазы. Построены соответствующие CVD-диаграммы. Показана возможность использования таких смесей для получения композитных пленок разного состава. Исследована зависимость содержания отдельных фаз. Найдено, что при соответствующих условиях в этих системах можно ожидать образование фазовых комплексов Ni + C и Ni + NiO, а также отдельных фаз Ni и NiO. Установлено, что комплекс, содержащий графит, образуется в области сравнительно низких температур. Определены области условия формирования фаз и фазовых комплексов на основе исследованных смесей.

全文:

受限制的访问

作者简介

В. Шестаков

Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

编辑信件的主要联系方式.
Email: vsh@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск, 630090

М. Косинова

Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Email: vsh@niic.nsc.ru
俄罗斯联邦, Новосибирск, 630090

参考

  1. Napari M., Huq T.N., Hoye R.L.Z., MacManus-Driscoll J.L. // InfoMat. 2021. V. 3. № 5. P. 536. doi: 10.1002/inf2.12146
  2. Wilson R.L., Macdonald T.J., Lin C.-T., et al. // RSC Adv. 2021. V. 11. P. 22199.
  3. Alessa H., Noh M.F.M., Mumthas I.N.N., et al. // Phys. Status Solidi A. 2020. V 217. P. 1900607.
  4. Yates H.M., Hodgkinson J.L., Meroni S.M.P., D. et al. // Surf. Coat. Technol. 2020. V. 385. P. 125423.
  5. Roffi T.M., Nozaki S., Uchida K. // J. Cryst. Growth. 2016. V. 451, P. 57.
  6. Sialvi M.Z., Mortimer R.J., Wilcox G.D., et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2013. V. 5. P. 5675.
  7. Maruyama T., Arai S. // Solar Energy Materials and Solar Cells 1993. V. 30. P. 257.
  8. Gagaoudakis E., Michail G., Katerinopoulou D., et al. // Mater. Sci. Semicond. Process. 2020. V. 109. P. 104922.
  9. Wilson R.L., Simion C.E., Stanoiu A., et al. // ACS Sens. 2020. V. 5. P. 1389.
  10. Zywitzki D., Taffa D.H., Lamkowski L., et al. // Electrocatalysts. Inorg. Chem. 2020. V. 59. P. 10059.
  11. Han S.W., Kim I.H., Kim D.H., et al. // Appl. Surf. Sci. 2016. V. 385. P. 597.
  12. Yin Y., Xie Y., Chen T., et al. // Ibid. 2023. V. 613. P. 155994.
  13. Patil A.R., Dongale T.D., Kamat R.K., Rajpure K.Y. // Mater. Today Commun. 2023. V. 34. P. 105356.
  14. Xia X.H., Tu J.P., Zhang J., et al. // Electrochim. Acta. 2008. V. 53. P. 5721.
  15. Krunks M., Soon J., Unt T., et al. // Vacuum. 2014. V. 107. P. 242.
  16. Пархоменко Г.П., Солован М.Н., Марьянчук П.Д. // Физика и техника полупроводников. 2018. Т. 52. № 7. С. 718.
  17. Benedet M., Barreca D., Fois E., et al. // Dalton Trans. 2023. V. 52. P. doi: 10.1039/d3dt01282d.
  18. Zywitzki D., Taffa D.H., Lamkowski L., et al. // Electrocatalysts. Inorg. Chem. 2020. V. 59, P. 10059.
  19. Kandpal S., Ezhov I., Tanwar M., et al. // Optical Materials. 2023. V. 136. P. 113494.
  20. Zharkova G.I., Dorovskikh S.I., Sysoev S.V., et al. // Surf. Coat. Technol., 2013. V. 230. P. 290.
  21. Кондратьева А.С., Александров С.Е. // Журн. прикл. химии. 2016. Т. 89. Вып. 9. С. 1108.
  22. Shestakov V.A., Kosyakov V.I., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V.65. P. 898. [Шестаков В.А., Косяков В.И., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2020. Т. 65. C.829.] https://doi.org/10.7868/S0044457X1806017X
  23. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Изв. АН. Сер. хим. 2021. № 2. С. 283. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. Chem. Bull., Int. Ed. V. 70. № 2. P. 283.] https://doi.org/10.1007/s11172-021-3083-9
  24. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 11. С. 1585 [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1703.] https://doi.org/10.31857/S0044457X21110155.
  25. Шестаков В.А., Яковкина Л.В., Кичай В.Н. // Там же. 2022. Т. 67. № 12. С. 1746. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600608
  26. Kuznetsov F.A., Titov V.A. // Proc. Int. Symp. on Advanced Materials (September 24–30, 1995). Jpn., P. 16–32.
  27. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. / Под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1988. Т. 3. Кн. 2. 395 с.
  28. Кузнецов Ф.А., Буждан Я.М., Коковин Г.А. // Изв. СО АН СССР. Сер. хим. наук. 1975. № 2. Вып. 1. С. 24.

补充文件

附件文件
动作
1. JATS XML
下载
2. Fig. 1. DFD diagram of the Ni(C5H5)2 + nO2 + Ar system at P = 0.1 Torus.

下载 (16KB)
索引源数据
3. Fig. 2. CVD diagram of the Ni(C5H7O2)2 + nO2 + Ar system at P = 0.1 Torus.

下载 (17KB)
索引源数据

版权所有 © Russian Academy of Sciences, 2024