Термодинамическое моделирование осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы
- Authors: Шестаков В.А.1, Косинова М.Л.1
-
Affiliations:
- Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
- Issue: Vol 98, No 9 (2024)
- Pages: 135-139
- Section: 100-ЛЕТИЮ ЛАБОРАТОРИИ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕРМОДИНАМИКИ МГУ
- Submitted: 23.03.2025
- Published: 30.12.2024
- URL: https://ruspoj.com/0044-4537/article/view/677641
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044453724090182
- EDN: https://elibrary.ru/OMNNER
- ID: 677641
Cite item