МЭМС-УСТРОЙСТВА
| Edição | Título | Arquivo | |
| Volume 52, Nº 6 (2023) | MEMS SWITCH BASED ON CANTILEVER WITH INCREASED CONTACT FORCE |
![]() (Rus) |
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| Belozerov I., Uvarov I. | |||
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| Volume 52, Nº 6 (2023) | MEMS SWITCH BASED ON CANTILEVER WITH INCREASED CONTACT FORCE |
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| Belozerov I., Uvarov I. | |||
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